高效过滤器级别、换气次数与洁净度之间的关系
ISO14644
分级
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对应传统规格 |
气流形式 |
平均风速m/s |
换气次数 |
末端过滤器
效率
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过滤器检测
方法
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ISO1 |
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≥99.9999% |
扫描 |
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ISO2 |
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U |
0.30.5 |
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≥99.9999% |
扫描 |
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ISO3 |
1 |
U |
0.30.5 |
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≥99.999% |
扫描 |
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ISO4 |
10 |
U |
0.30.5 |
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≥99.999% |
扫描 |
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ISO5 |
100 |
U |
0.20.5 |
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≥99.97% |
总效率或扫描 |
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ISO6 |
1，000 |
N，M |
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70160 |
≥99.97% |
总效率或扫描 |
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ISO7 |
10，000 |
N，M |
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2070 |
≥99.97% |
总效率或扫描 |
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ISO8 |
10，000 |
N，M |
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1020 |
≥99.97% |
总效率或扫描 |
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ISO9 |
100，000 |
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注:U单向流,N非单向流,M单向与非单流 不同等级的洁净室,所用的高效空气过滤器基本是一致的.过滤器的质量如果有了保证,通风参数(换气次数或平均风速)是决定洁净工程质量的关键因素。目前要求较为严格的洁净室工程中所用的高效空气过滤器一般都要求经过逐台扫描检验。目前国内对于高效过滤器出厂100%检漏很少。像业内有点名气的一些厂家多数还是会逐台检测的，比如像日本的AAF（06年前属美国），像江苏的苏净、广东的灵洁，都有专门的激光尘埃粒子计数器逐台检漏，这也让他们得到了客户的认可。国内可以开展洁净室施工的单位成千上万，所以对于各种洁净室的唤起次数及平均风速的取值也有差别。换气次数少，投资省，运行成本低，洁净度上有风险。（根据经验，国内施工单位为了能顺利通过洁净室的验收，很多都采用远高于标准要求的换气次数）。 很多单位的洁净室验收都是在静态状态下进行，经过长时间的自净，一般都可以获得很高的洁净度测试结果，但实际的运行情况，未必如此。 单向流洁净室也称"层流"或匀流洁净室，这种洁净室的平均风速至关重要，粉尘的自由扩散速度是0.150.2m/s,如果风速压不住粉尘的扩散速度,使用效率再高的过滤器也达不到预期的效果。 非单向流洁净室，也称乱流洁净室，洁净室靠送风来稀释尘埃，以达到一定的洁净度要求。乱流洁净室由于室内操作人员较多、设备和生产过程中发尘量也较大，高效效率的高低不是决定性因素。
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